氣體回收系統(tǒng)是對(duì)生產(chǎn)中的廢氣，如氫氣、氬氣和氦氣進(jìn)行回收再利用的系統(tǒng)1。這些系統(tǒng)采用不同的技術(shù)來(lái)處理不同類型的氣體。以下是一些常見的氣體回收裝置： 氫氣回收裝置：主要用于鎢鉬行業(yè)還原工序排出的廢氫。廢氫經(jīng)過(guò)預(yù)處理系統(tǒng)，冷卻、分離水份，然后進(jìn)入純化裝置，使氫氣達(dá)到高純度。 氬氣回收純化裝置：用于區(qū)熔單晶硅爐排出的氬氣。通過(guò)膜片壓縮機(jī)穩(wěn)壓器進(jìn)入氬氣純化裝置，使氬氣純度達(dá)到99.999%以上。 氦氣回收裝置：根據(jù)用戶要求提供非標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)，純度通常為99.999%以上。 此外，還有活性炭纖維（ACF）有機(jī)氣體吸附回收系統(tǒng)，適用于印刷、涂布、復(fù)合、石油化工、制藥、電子元件等生產(chǎn)過(guò)程中的有機(jī)廢氣。該系統(tǒng)使用活性炭纖維作為介質(zhì)，通過(guò)水蒸氣脫附有機(jī)溶劑，實(shí)現(xiàn)氣體溶劑的回收。 成品油儲(chǔ)罐揮發(fā)氣體回收系統(tǒng)也是重要的應(yīng)用領(lǐng)域。通過(guò)壓力開關(guān)、防爆電磁閥、氣體流量計(jì)、壓縮機(jī)等設(shè)備，將成品油儲(chǔ)罐內(nèi)的揮發(fā)氣體回收、液化，再利用。 總之，氣體回收系統(tǒng)在降低生產(chǎn)成本、節(jié)約能源、提高經(jīng)濟(jì)效益方面發(fā)揮著重要作用。此外，隨著環(huán)保意識(shí)的增強(qiáng)，氣體凈化和硫回收等領(lǐng)域也有巨大潛力。