氣體回收工藝是一種將生產(chǎn)中的廢氣進(jìn)行回收再利用的技術(shù)，其流程主要包括預(yù)處理、熱量回用、冷凝回收及尾液提純等步驟。首先，廢氣經(jīng)過預(yù)處理階段，去除其中的粉塵、顆粒物等雜質(zhì)，以滿足后續(xù)設(shè)備的潔凈度要求。隨后，利用氣-氣換熱器回收廢氣中的熱量，將其用于加熱回風(fēng)，實(shí)現(xiàn)能量的循環(huán)利用。接著，廢氣經(jīng)過兩級(jí)冷凝降溫，大部分轉(zhuǎn)化為液態(tài)并儲(chǔ)存回收，剩余的低濃度混合氣體則返回生產(chǎn)設(shè)備。最后，通過精餾等工藝對(duì)回收液進(jìn)行提純，得到高純度的液體供生產(chǎn)使用。