內(nèi)壓縮空分流程是指液體產(chǎn)品在冷箱內(nèi)通過液體泵加壓后獲取壓力，再經(jīng)過高壓換熱器復(fù)熱送出冷箱的一種流程形式。內(nèi)壓縮流程的工作壓力一般都超出氧、氮的臨界點，液體在超臨界狀態(tài)下進行換熱是內(nèi)壓縮流程的一大特點，而在精餾過程中，由于產(chǎn)品種類及獲取方式的差異，導(dǎo)致塔內(nèi)設(shè)備的物料進出口與外壓縮流程有很大差別。在內(nèi)壓縮空分流程中，氧氣的壓力不受限制，氮氣產(chǎn)量較大可達到氧氣產(chǎn)量的2.8倍，氬氣的提取率可以達到85%左右。

內(nèi)壓縮空分流程一般由內(nèi)壓縮系統(tǒng)、空氣預(yù)冷系統(tǒng)、分子篩純化系統(tǒng)、精餾系統(tǒng)、產(chǎn)品壓縮系統(tǒng)和貯存與汽化系統(tǒng)組成,其流程形式一般有三種：空氣增壓單泵流程；空氣增壓雙泵流程；氮氣循環(huán)單泵流程。

1、空氣增壓單泵流程：是指中、高壓氧內(nèi)壓縮，中、高壓氮外壓縮，壓力氮氣下塔抽取，低壓氮氣上塔抽取。

2、空氣增壓雙泵流程：是指中、高壓氧氣和中、高壓氮氣均為內(nèi)壓縮，壓力氮氣下塔抽取，低壓氮氣上塔抽取。

3、氮氣循環(huán)單泵流程：是指中、高壓氧內(nèi)壓縮，中高壓氮為外壓縮，壓力氮氣下塔抽取，低壓氮氣上塔抽取，循環(huán)氮壓機與產(chǎn)品壓縮機合二為一。