1978年，我國空分行業(yè)成功研制生產(chǎn)出套高純氮空分設(shè)備，時至今日，制氮設(shè)備的研發(fā)和制造在近幾十年取得了跨越式的發(fā)展，高純氮設(shè)備的生產(chǎn)技術(shù)已日趨成熟并已完全實現(xiàn)了國產(chǎn)化。

氮氣產(chǎn)品的需求領(lǐng)域主要有油田注氮、石油化工、合成纖維、合成氨、玻璃、軋鋼、高新材料和電子工業(yè)領(lǐng)域。大型高純氮設(shè)備主要應(yīng)用于油田注氮；大中型高純氮設(shè)備主要用于石油化工、浮法玻璃、合成纖維、合成氨、和軋鋼等行業(yè)；小型制氮設(shè)備主要應(yīng)用于電子等行業(yè)。

高純氮的基本流程形式有以下幾種：

1.返流廢氣膨脹流程，適合于氮氣產(chǎn)品壓力較高的場合。該流程有效地利用了帶壓力的廢氣，分全膨脹與部分膨脹兩種流程，全膨脹較部分膨脹所產(chǎn)生的液體量會較大，但是會增加膨脹機(jī)的投資。

2.正流空氣膨脹機(jī)流程，適用于要求氮氣產(chǎn)品壓力較低的場合。流程形式為膨脹空氣經(jīng)過膨脹機(jī)增壓端增壓后直接去膨脹，膨脹至接近于常壓直接放空，在裝置規(guī)模較大時，則是單獨設(shè)置增壓機(jī)用于增壓膨脹空氣，用于提高產(chǎn)品產(chǎn)量。

3.變壓吸附制氮，適用于氮氣純度要求較低的場合。一般變壓吸附無法生產(chǎn)液體，需要液體產(chǎn)品時，采取配套外液化裝置的方式。

以上幾種流程形式相比較，變壓吸附可以降低能耗，但投資較大。

當(dāng)前應(yīng)用較多的為返流廢氣膨脹流程和正流空氣膨脹流程，其中正流空氣膨脹適合液體用量較大的用戶，返流廢氣膨脹流程具有能耗低的優(yōu)勢，應(yīng)用較為廣泛。