凈化后的空氣進(jìn)入分餾塔，并通過主熱交換器與回流的污染氮，氧和氮進(jìn)行熱交換。冷卻后，將其一小部分液化，將氣液混合空氣節(jié)流至0.55 MPa的壓力。塔經(jīng)過精餾，在下部塔的頂部獲得99.999％的純氮，然后進(jìn)入主冷卻塔，并通過上部塔的液氧蒸發(fā)被冷凝成液氮。一部分液氮作為回流液返回下部塔，冷卻后將剩余的液態(tài)氮節(jié)流。進(jìn)入上部塔頂部的噴霧器。底部釜液是含有38％氧氣的液態(tài)空氣。通過液空過冷器后，進(jìn)入上塔中部參與精餾。同時(shí)，骯臟的液氮流從下部塔的中間抽出，然后作為回流液體進(jìn)入上部塔。

從主熱交換器中間抽出的一部分空氣進(jìn)入渦輪膨脹機(jī)進(jìn)行絕熱膨脹，從而產(chǎn)生設(shè)備運(yùn)行所需的大部分冷量。膨脹后的空氣通過熱虹吸熱交換器消除部分過熱，然后進(jìn)入上塔的中部參與精餾。

處于不同狀態(tài)的四種流體進(jìn)入上塔并再次分離，在上塔的頂部高純氮?dú)?。液氮過冷器和主熱交換器從分餾塔再加熱到9℃左右后，上部塔底部的液氧吸收了主冷卻過程中下部塔氮冷凝產(chǎn)生的熱量蒸發(fā)。其中，主換熱器將純度為99.6％的氧氣再加熱至9℃左右。從分餾塔出來，其余部分用作上升蒸汽參與精餾。上部塔的上部仍然有含污氮?dú)馔ㄟ^液態(tài)空氣過冷器抽出，由主熱交換器再加熱后從分餾塔中排出。再生分子篩吸附器后對(duì)凈化系統(tǒng)進(jìn)行排氣。

從主冷卻器底部將液氧抽取到氧液體量筒，分離蒸汽和液體并在量筒裝滿后迅速填充氧氣低溫液儲(chǔ)罐。制備液氮時(shí)，將液氮過冷器中的液氮注入氮?dú)庖毫客埠髮⒘客部焖僮⑷氲獨(dú)獾蜏匾后w儲(chǔ)罐中。蒸發(fā)后它為用戶提供氣態(tài)氮產(chǎn)品。合格的氧氣離開分餾塔后，通過壓縮氧氣系統(tǒng)對(duì)其加壓以供使用。