首先進行管道外觀檢查，確認所有管路：

1)依設(shè)計排列施工, 并予標示氣體種類。

2)所有使用之材料符合規(guī)定之材料。

3)管路之焊接符合規(guī)范，角度不存在不正、傾斜、歪曲。

4)管路沒有污物殘留。

5)管路沒有有凹陷、龜裂等不良缺陷。

接著進行保壓測試：

1)將所有氣體管路的末端閥打開。

2)關(guān)閉待測氣體管路的末端閥。

3)將待測氣體管路以N₂充壓至一定壓力,并觀察五分鐘, 觀察壓力計是否有下降現(xiàn)象。

4)若壓力計無下降,即代表管路連接正確。若無下降現(xiàn)象打開待測氣體管路末端閥,判斷壓力計是否會下降至零, 若降至零代表壓力計無問題。接著管路壓力測試及氣密性試驗:

1)使用0.1μm過濾器過濾的氮氣或PN2系統(tǒng)做壓力測試。

2)壓力測試時所需壓力大小及加壓時間的設(shè)計值需按設(shè)計要求。

3)管路充入規(guī)定壓力的氣體后, 檢查所有被聯(lián)接和焊接的部份, 并用測漏液檢漏, 維持一定的管內(nèi)壓力并做記錄。

4)記錄任何被發(fā)現(xiàn)的異常點。

5)記錄使用中的壓力表讀得有關(guān)數(shù)據(jù)。

6)完成壓力測試后開始做氣密測試。

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