氬餾分從上塔抽出后，進(jìn)入粗氬塔用精餾法進(jìn)行氧、氬分離。一般粗氬塔頂引出的粗氬組分為：氬大于98%、氮小于0.5%、氧小于1.5%。將純度大于98%的粗氬導(dǎo)入分子篩吸附器。每組吸附器設(shè)置2臺(tái)，一臺(tái)吸附器內(nèi)裝5A分子篩，吸附粗氬氣中的氮；另一臺(tái)吸附器內(nèi)裝4A分子篩，吸附粗氬氣中的氧。為了吸附劑的解吸，吸附器需要設(shè)置兩組，切換使用。吸附器在90K溫度條件下工作，粗氬氣先進(jìn)入5A分子篩吸附器除氮，然后進(jìn)入4A分子篩吸附器除氧，其流程見圖18。從一組分子篩吸附器出來的氣體含氬純度可達(dá)到99.99%，即為純氬。
吸附法制氬的優(yōu)點(diǎn)在于，工藝流程簡(jiǎn)單、操作方便、成本低。但是，氬的純度只能達(dá)到99.99%。由于受分子篩選擇吸附能力的限制，無法獲得純度為99.999%。A的高純氬氣。另一個(gè)缺點(diǎn)是，吸附器的工作溫度為90K，再生溫度為423K，吸附結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)較為困難。吸附器工作時(shí)，床層必須冷卻，往往需采用夾套或管內(nèi)通液氧冷卻。若想達(dá)到均一的冷卻溫度，對(duì)于大型制氬設(shè)備所需直徑較大的吸附器來說，就十分困難。因?yàn)橛幸陨蟽蓚€(gè)缺點(diǎn)，限制了吸附法制純氬的應(yīng)用。目前，國內(nèi)吸附法制氬能力不超過10m3/h，只在150m3/h空分設(shè)備配套的制氬設(shè)備上采用，在大型制氬設(shè)備上尚無應(yīng)用。