外壓縮流程的空分設備生產的氧氮產品為來自上塔的低壓氧氣、氮氣，經換熱器復熱后送出冷箱，出冷箱的產品氣體壓力一般為0.12MPa，經氧氣壓縮機將之壓縮到用戶所需壓力后，送入用戶管線。

氧氣內壓縮流程是從冷凝蒸發(fā)器直接抽出液氧產品，在冷箱內，經液氧泵壓縮到用戶所需壓力，再經換熱器復熱、氣化后送入用戶管線。

同外壓縮流程相比，液氧內壓縮流程具有以下特點：

1、不需配置氧氣壓縮機，只需配置液氧泵，液氧泵同氧壓機相比，體積小，結構簡單，費用降低。

2、由于不斷有大量的液氧從冷凝蒸發(fā)器排出，碳氫化合物不易在冷凝蒸發(fā)器集聚，有利于設備安全運行，壓縮液態(tài)氧比壓縮氣態(tài)氧安全系數(shù)更大。

3、由于液氧復熱、氣化時的壓力較高，要求換熱器的氧通道具有更高的承壓性能，因此內壓縮流程的換熱器成本相應提高。

4、內壓縮流程的液氧氣化冷量充足，冷損相對較大，為了保持冷量平衡，要求原料空氣的壓力較高，增加了空壓機的能耗。

綜合性相比，液氧內壓縮流程的安全性和可靠性更高，隨著變頻液氧泵的應用，產品氮氣、氧氣的流量調節(jié)更加靈活，產品的純度也更高。