氬氣凈化回收裝置是將本來(lái)直接排放于大氣的含各種雜質(zhì)的氬氣(回收壓力略高于大氣壓)通過(guò)初級(jí)過(guò)濾粉塵及反吹回收裝置、精密二級(jí)過(guò)濾,由壓縮機(jī)增壓,冷凍干燥機(jī)脫水,除氧劑除氧、干燥設(shè)備深層吸附去除氬氣中的微量氧、水份及氣體微量雜質(zhì),全自動(dòng)氬氣回收凈化系統(tǒng)高純氬氣回收提純?cè)O(shè)備得到純度極高的氬氣,最后經(jīng)貴金屬精密過(guò)濾器送至工作點(diǎn)使用。